机译:用于长条细长晶片条的研磨装置,其具有带有保持器主体的可移动块,该保持器主体用于支撑保持单元,以改变球形保持器主体的位置,其中可移动块可平行于平坦的研磨表面移动。
公开/公告号DE102007061189A1
专利类型
公开/公告日2008-07-31
原文格式PDF
申请/专利权人 FUJITSU LIMITED KAWASAKI;
申请/专利号DE20071061189
申请日2007-12-17
分类号B24B7/00;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 19:49:10