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DATA AGE ADJUSTMENTS

机译:数据时代调整

摘要

A method for compensating data age in measurement signals from an interferometer includes measuring a value of the measurement signal and adjusting the measured value based on the measurement signal with a data age adjustment value to correct for data age.
机译:一种用于补偿来自干涉仪的测量信号中的数据寿命的方法,该方法包括:测量测量信号的值;以及基于测量信号利用数据寿命调整值来调整测量值,以校正数据寿命。

著录项

  • 公开/公告号EP1285223B1

    专利类型

  • 公开/公告日2009-04-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ZYGO CORP;

    申请/专利号EP20010935631

  • 发明设计人 DEMAREST FRANK C.;

    申请日2001-05-16

  • 分类号G01B9/02;G01J9/02;G03F9/00;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-21 19:19:08

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