机译:光学装置投影透镜,具有用于在相位和振幅方面对入射角相关的偏振划分的角度进行优化布置的结构,以及另一种补偿波前变化的结构
公开/公告号DE102008041144A1
专利类型
公开/公告日2009-03-05
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT AG;
申请/专利号DE20081041144
发明设计人 GRUNER TORALF;
申请日2008-08-11
分类号G02B27/28;G02B27/62;G02B1/10;G03F7/20;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 19:09:05