要解决的问题:提供一种用于粒子束处理系统的多叶准直器,该系统只能通过廉价的增量编码器来检测叶片的运行异常。
解决方案:当打开门扇8L并且由转矩计算装置计算出的电动机3L的转矩值在预定时间内超过预定值时,检测到门扇8L与止动件7L的接触以清除积分的脉冲通过积分由编码器5L产生的脉冲而获得的值12P。使叶片8L再次与止动件7L接触,以根据脉冲积分值是否在0附近来确定叶片驱动装置30的异常。
版权:(C)2010,JPO&INPIT
公开/公告号JP2010005149A
专利类型
公开/公告日2010-01-14
原文格式PDF
申请/专利权人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP;
申请/专利号JP20080168102
发明设计人 NOMURA AKIHIRO;
申请日2008-06-27
分类号A61N5/10;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 19:05:13