要解决的问题:获得一种超声波自动缺陷检查系统,该系统可以校正由位置偏移引起的偏心量并获得精确的缺陷检查结果。
解决方案:提供多个阵列探针11A-11D,这些阵列探针被布置为通过接触介质21覆盖圆棒20的整个周边,并且用超声波束照射圆棒20以接收反射的光。从圆棒20中的声音不连续部分和用于激励阵列探针11A-11D的换能器10反射的电子束回波。换能器10不仅基于接触介质21的声速和从反射镜的表面反射的反射束回波的传播延迟时间来计算从阵列探针11A-11D到圆棒20的表面的距离。基于无偏心情况下已知的从阵列探针11A-11D到圆棒20的表面的距离以及计算的距离,圆棒20的偏心量也取决于圆棒20的偏心量,并且改变阵列探针11A-11D的激发条件,以校正圆棒20的偏心量并激发阵列探针11A-11D,从而改变超声波束的方向以照射圆棒20。版权:(C)2010,日本特许厅和INPIT
公开/公告号JP2010145114A
专利类型
公开/公告日2010-07-01
原文格式PDF
申请/专利权人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP;
申请/专利号JP20080319569
申请日2008-12-16
分类号G01N29/04;G01N29/24;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 19:03:47