要解决的问题:提供仅精确地掌握阴极的功函数所必需的热电子发射电流测量装置。
解决方案:热电子发射电流测量装置100包括测量装置主体1,直流电源2,脉冲电源3和电流电压测量装置6。测量装置主体1包括真空室。参照图13,样品安装台17安装在真空室13内并安装阴极15作为测量样品,阳极19安装在真空室13内和灯丝21。当测量阴极15的热电子发射电流时,使电流流入灯丝21以加热并发射热电子,利用直流电源2在灯丝21上施加电压以加速电子,将电子撞击施加到阴极15以对其进行加热,并且热电子使用电流-电压测量装置6测量加热的阴极15的发射电流。
COPYRIGHT:(C)2010,JPO&INPIT
公开/公告号JP4486161B1
专利类型
公开/公告日2010-06-23
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社アライドマテリアル;
申请/专利号JP20090263771
申请日2009-11-19
分类号H01J9/42;H01J1/15;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 19:00:09