要解决的问题:提供一种激光状态检测设备,该设备能够利用半导体激光元件的自耦合效应高度可靠地检测状态。
解决方案:该激光状态检测设备用于分析照射光束,该照射光束与半导体激光器元件中由于自耦合效应产生的干涉信号叠加在一起,以检测直至测量对象的状况,并使用半导体激光器元件发射波长调制的激光束朝向测量对象,并用于引入被测量对象反射的激光束,特别地,提供有状态检测光接收器,该状态检测光接收器设置为仅接收从激光元件发射的照射束,并进行对象检测。提供的光接收器仅接收物体反射的光束。
版权:(C)2007,日本特许厅&INPIT