机译:使用正型感光性树脂成分及上述正型的半导体装置及指示元件的制造方法,零碱熔性树脂,以及半导体装置及指示元件的制造方法
解决方案:在包含碱溶性树脂(A),光敏重氮醌化合物(B)和两种或更多种混合溶剂(C)的正性光敏树脂组合物中,混合溶剂(C)包含以下溶剂: γ-丁内酯和丙二醇单烷基醚的量为溶剂总量的70wt。%。
版权:(C)2005,JPO&NCIPI
公开/公告号JP4556616B2
专利类型
公开/公告日2010-10-06
原文格式PDF
申请/专利权人 住友ベークライト株式会社;
申请/专利号JP20040313982
申请日2004-10-28
分类号G03F7/004;G03F7/023;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 18:58:34