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High time-resolution ultrasensitive optical sensor using a planar waveguide leakage mode, and methods for making same

机译:使用平面波导泄漏模式的高时间分辨率超灵敏光学传感器及其制造方法

摘要

A high time-resolution ultrasensitive optical detector, using a planar waveguide leakage mode, and methods for making the detector. The detector includes a stacking with a dielectric substrate, a detection element, first and second dielectric layers, and a dielectric superstrate configured to send photon(s) into the light guide formed by the first layer. The thicknesses of the layers is chosen to enable a resonant coupling between the photon(s) and a leakage mode of the guide, the stacking having an absorption resonance linked to the leakage mode for a given polarization of the photon(s).
机译:使用平面波导泄漏模式的高时间分辨率超灵敏光学检测器及其制造方法。该检测器包括具有电介质基板,检测元件,第一和第二电介质层以及被配置为将光子发送到由第一层形成的光导中的电介质覆层的堆叠。选择层的厚度以实现光子与引导件的泄漏模式之间的共振耦合,对于具有给定的光子极化,堆叠具有与泄漏模式相关的吸收共振。

著录项

  • 公开/公告号US7718964B2

    专利类型

  • 公开/公告日2010-05-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LAURENT FREY;

    申请/专利号US20060066388

  • 发明设计人 LAURENT FREY;

    申请日2006-09-25

  • 分类号H01L27/18;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 18:51:06

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