İleri Teknoloji Uygulamaları için Küçük Dielektrik Sabitli K

摘要

Bu buluş küçük dielektrik sabitli (küçük-k), kriptokristallerin mikroelektronik entegre devre tabanları üzerinde sentezlenemsi yöntemi ilekriptokristallerin nanoyapılara dönüştürülmesi ve bu süreç sonucu elde edilen kristallerle gerçekleştirilen optik ve elektronik aygıt ve sistemlere ilişkindir.Sentezleme işleminde, buhar fazı yüzey aşındırma yöntemi ile (CVP), silisyum yüzeyinin kristal yapısı ve bileşimi değişikliğe uğratılarak, homojen ve entegre devre tabanıyla kaliteli arayüz oluşturan kriptokristal üretilmiştir.Bu yöntemle, büyüme hızı 1 micrometre/saat olan dielektrik kriptokristal yapı oluşumu gerçekleştirilmiştir.Bu yöntem sonucu oluşturulanNanoteller 1000 nanometreye varançapları ve 50 mikrometre'ye varan uzunluklara sahiptirler.Kriptokristaller, nanoteller ve oraganize yapılar, mikroişlemcilerde performans yükseltici arametal yalıtkanı, yoğun bilgi depolama alanında hafıza hücreleri ve bilgi güvenliği alanında tek yönlü fonksiyon üreticisi olarak ve ayrıcaDEVAMI VAR