公开/公告号AT464585T
专利类型
公开/公告日2010-04-15
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT AG;
申请/专利号AT20020806742T
发明设计人 WEISS MARKUS;SINGER WOLFGANG;HEISLER ANDREAS;FALTUS JUERGEN;SEIFERT ANDREAS;MANN HEINZ;MELZER FRANK;HOLDERER HUBERT;
申请日2002-12-23
分类号G02B7/182;G02B5/09;G02B7/198;G02B26/08;G03F7/20;H01L21/027;
国家 AT
入库时间 2022-08-21 18:43:48