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A CONTROLLABLE FABRICATION METHOD OF GRAPHENE SHEETS USING THE THERMAL PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION METHOD

机译:热等离子体化学气相沉积法制石墨烯的可控制制备方法

摘要

PURPOSE: A controllable graphene sheet manufacturing method using thermal plasma chemical vapor deposition is provided to consecutively make mass production of graphene by consecutively supplying carbon source material. CONSTITUTION: A controllable graphene sheet manufacturing method using thermal plasma chemical vapor deposition is as follows. A thermal plasma flame(6) of high temperature is forming by injecting plasma gas. A gaseous or liquid type carbon source material is inserted in the plasma flame. An atomized carbon atom is transferred to the thermal plasma flame to form a carbon atom beam flowing to the fast speed. A long rod is attached to an anode(4) by inserting the carbon atom beam to the rod to uniform the beam.
机译:目的:提供一种使用热等离子体化学气相沉积的可控制石墨烯片制造方法,以通过连续供应碳源材料来连续批量生产石墨烯。组成:使用热等离子体化学气相沉积的可控石墨烯片制造方法如下。通过注入等离子气体形成高温的热等离子火焰(6)。气态或液态碳源材料被插入等离子火焰中。雾化的碳原子被转移到热等离子体火焰中,以快速流动的方式形成碳原子束。通过将碳原子束插入棒中,以使束均匀,将长棒连接到阳极(4)。

著录项

  • 公开/公告号KR20100110216A

    专利类型

  • 公开/公告日2010-10-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SNU R&DB FOUNDATION;

    申请/专利号KR20090028681

  • 发明设计人 SUH JUNG SANG;KIM JU HAN;

    申请日2009-04-02

  • 分类号C23C16/26;H01L21/205;C01B31/04;C23C16/513;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 18:31:47

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