要解决的问题:提供一种形状测量系统,形状测量方法和形状测量程序,该形状测量系统,形状测量方法和形状测量程序能够自动计算所需的特定部分中的角R的半径,距离和角度等尺寸尺寸精度高。解决方案:本发明的形状测量系统包括轮廓形状图像生成装置,用于从读取的轮廓形状数据生成轮廓形状图像;以及评估区域设置装置,用于将第一评估区域和第二评估区域设置在通过在轮廓形状图像中执行几何图案匹配(在某些情况下称为PM)而找到的被测目标部分的规定周边位置中;测量区域设置装置,用于基于第一评估区域和第二评估区域内基于轮廓形状数据线性近似的两条直线的交点作为基准来设置测量区域;形状评估装置,用于响应于所设定的形状评估的一种,在测量区域内的轮廓形状数据中找到几何元素的物理量,并执行规定的尺寸测量处理。
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