公开/公告号US8034180B2
专利类型
公开/公告日2011-10-11
原文格式PDF
申请/专利权人 PAUL LUKAS BRILLHART;RICHARD FOVELL;DOUGLAS A. BUCHBERGER JR.;DOUGLAS H. BURNS;KALLOL BERA;DANIEL J. HOFFMAN;
申请/专利号US20060410782
发明设计人 DOUGLAS A. BUCHBERGER JR.;KALLOL BERA;RICHARD FOVELL;DANIEL J. HOFFMAN;PAUL LUKAS BRILLHART;DOUGLAS H. BURNS;
申请日2006-04-24
分类号C23C16/00;C23F1/00;H01L21/306;
国家 US
入库时间 2022-08-21 18:14:20