机译:半导体基质转移/隧道处理装置,包括至少在上方和/或下方的隧道区域中,根据行使的补救措施,加强对行为的定向指导补救措施的过度行使补救措施的行使补救补救措施的行使排除在范围之内的扩展压力板部分。
公开/公告号NL1037069C2
专利类型
公开/公告日2010-12-27
原文格式PDF
申请/专利权人 BOK EDWARD;
申请/专利号NL20091037069
发明设计人 BOK EDWARD;
申请日2009-06-23
分类号H01L21;
国家 NL
入库时间 2022-08-21 18:05:14