公开/公告号EP2289110A2
专利类型
公开/公告日2011-03-02
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申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号EP20090739741
发明设计人 GEE JAMES M.;MITCHELL ANDREW MARK;MEAKIN DAVID H.;TELLE JOHN;MURPHY BRIAN;SOUTHIMATH SYSAVANH;
申请日2009-04-29
分类号H01L31/042;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 17:55:21