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机译:电动组件振动纳米级或微米级,其检测水平提高
公开/公告号FR2921916B1
专利类型
公开/公告日2011-04-29
原文格式PDF
申请/专利权人 COMMISSARIAT A LENERGIE ATOMIQUE;STMICROELECTRONICS SA;
申请/专利号FR20070058173
发明设计人 CEDRIC DURAND;FABRICE CASSET;
申请日2007-10-09
分类号B81B7/02;B06B1/02;
国家 FR
入库时间 2022-08-21 17:46:00
机译: 检测级增强的纳米或微米尺度的机电组件振动
机译: 检测级增强的纳米级或微米级的机电组件振动