公开/公告号JP4979746B2
专利类型
公开/公告日2012-07-18
原文格式PDF
申请/专利权人 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.;
申请/专利号JP20090183432
发明设计人 ゲールト ファンデンベルゲ;ルイス アルベルト コリーナ サンタマリア コリーナ;アレクサンダー ヘンドリクス マルティヌス ファン デル ホフ;ヨーゼフ マリア フィンデルス;ミルセア デュサ;リチャード ヨハネス フランシスクス ファン ハレン;エリック ヘンリ ヤン ヘンドリクス;
申请日2009-08-06
分类号G03F1/42;H01L21/027;G03F7/20;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 17:40:19