要解决的问题:提供一种MSM型光接收元件,并提供该元件的制造方法。解决方案:MSM型光接收元件100在光吸收层20的上表面20a上具有光接收面40。元件100包括基板10,光吸收层20形成在基板10上。基板10,形成在光吸收层20上的第一电极30,形成在光吸收层20上的第二电极32以及形成在光接收面40上的透镜50。透镜50具有用于在受光面40中收集光。
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公开/公告号JP4924785B2
专利类型
公开/公告日2012-04-25
原文格式PDF
申请/专利权人 セイコーエプソン株式会社;
申请/专利号JP20040091972
发明设计人 今井 保貴;
申请日2004-03-26
分类号H01L31/108;H01L31/0232;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 17:36:46