要解决的问题:提供一种振动陀螺仪,可以降低其噪声信号的噪声水平。解决方案:在振动陀螺仪中,振动器2包括一对主表面,侧面和从振动器边缘突出的突起24。振动陀螺仪本身包括至少形成在振动器的侧面上的驱动电极11J-11Q,至少形成在振动器的侧面上形成的感测电极14E-14H,形成在与之连接的侧面上的第一导电层18、20。驱动电极和形成在侧面上以与感测电极连接的第二导电层19、21。在突起24处,第一导电层18、20与第二导电层19、21绝缘。
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公开/公告号JP4905518B2
专利类型
公开/公告日2012-03-28
原文格式PDF
申请/专利权人 セイコーエプソン株式会社;
申请/专利号JP20090194032
申请日2009-08-25
分类号G01C19/5628;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 17:36:10