要解决的问题:提供一种电子束检查装置和方法,其中在载物台被扫描移位的同时,可以有效地进行由精细像素进行的高灵敏度检查。
解决方案:在电子束检查装置中,可以通过沿与电子束扫描扫描方向相同的方向(水平方向)扫描电子束,而不考虑电子束偏转频率的限制来调节载物台移动速度。阶段。通过扫描间距即像素尺寸和扫描次数来确定在阶段移位方向上连续获取条形图像时的图像获取宽度,例如,如果将扫描次数设置为一半,则决定阶段。速度可以提高两倍。
版权:(C)2008,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP4843413B2
专利类型
公开/公告日2011-12-21
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立ハイテクノロジーズ;
申请/专利号JP20060231151
申请日2006-08-28
分类号H01J37/28;H01L21/66;G01N23/225;H01J37/147;H01J37/20;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 17:35:55