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IMPRINTING APPARATUS, IMPRINTING METHOD, AND MANUFACTURING METHOD OF UNEVEN PLATE

机译:凹凸板的浸润装置,浸润方法及制造方法

摘要

According to one embodiment, an imprinting apparatus includes an ejecting unit, a stage, a moving unit, and an observation unit. The ejecting unit ejects and drips a hardening resin material onto a substrate to be processed. The substrate to be processed is placed onto the stage. The moving unit relatively moves the ejecting unit and the stage. The observation unit observes the dripped hardening resin material and the pattern with the state in which the dripped hardening resin material and the pattern are overlaid on a plane, before the template is brought into contact with the hardening resin material.
机译:根据一个实施例,一种压印设备包括排出单元,台架,移动单元和观察单元。排出单元将硬化树脂材料排出并滴落到要处理的基板上。将要处理的基板放在平台上。移动单元使弹出单元和平台相对移动。观察单元在使模板与固化树脂材料接触之前,以滴加的固化树脂材料和图案覆盖在平面上的状态观察滴下的固化树脂材料和图案。

著录项

  • 公开/公告号US2012207931A1

    专利类型

  • 公开/公告日2012-08-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 TAKUMI OTA;

    申请/专利号US201113234071

  • 发明设计人 TAKUMI OTA;

    申请日2011-09-15

  • 分类号B05D3/12;B05C9/12;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 17:34:31

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