公开/公告号US8221580B2
专利类型
公开/公告日2012-07-17
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申请/专利权人 DOUGLAS A. BUCHBERGER JR.;PAUL LUKAS BRILLHART;RICHARD FOVELL;HAMID TAVASSOLI;DOUGLAS H. BURNS;KALLOL BERA;DANIEL J. HOFFMAN;KENNETH W. COWANS;WILLIAM W. COWANS;GLENN W. ZUBILLAGA;ISAAC MILLAN;
申请/专利号US20060408567
发明设计人 KENNETH W. COWANS;DOUGLAS A. BUCHBERGER JR.;KALLOL BERA;HAMID TAVASSOLI;RICHARD FOVELL;DANIEL J. HOFFMAN;WILLIAM W. COWANS;PAUL LUKAS BRILLHART;ISAAC MILLAN;DOUGLAS H. BURNS;GLENN W. ZUBILLAGA;
申请日2006-04-21
分类号H01L21/3065;C23C16/52;C23C16/46;C23C16/458;
国家 US
入库时间 2022-08-21 17:30:36