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Empirical correction for spectroscopic ellipsometric measurements of rough or textured surfaces

机译：光谱椭偏测量的粗糙或纹理表面的经验校正

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摘要

A method of applying spectroscopic ellipsometry to arrive at accurate values of optical and physical properties for thin films on samples having rough or textured surfaces.

机译：一种应用椭圆偏振光谱法获得具有粗糙或纹理表面的样品上薄膜的光学和物理特性的准确值的方法。

著录项

公开/公告号US8248607B1

专利类型
公开/公告日2012-08-21

原文格式PDF
申请/专利权人 CRAIG M. HERZINGER;BLAINE D. JOHS;MATHIAS M. SCHUBERT;TINO HOFMANN;
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申请/专利号US20100804958
发明设计人 MATHIAS M. SCHUBERT;BLAINE D. JOHS;TINO HOFMANN;CRAIG M. HERZINGER;
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申请日2010-08-03
分类号G01J4/00;
国家 US
入库时间 2022-08-21 17:29:43

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