机译:废气循环系统从外部提供载气。气体供应器是与气体循环管线连接的储罐,并通过阀门控制按比例分配气体。该气体基于甲烷,乙烷,丙烷,丁烷和苯乙烯。塔诺,六氟化铀,氨。
公开/公告号CL2011000745A1
专利类型
公开/公告日2011-11-18
原文格式PDF
申请/专利权人 JEON YEONG MIN;
申请/专利号CL20110000745
发明设计人 JEON YEONG MIN.;
申请日2011-04-04
分类号B09B3/00;
国家 CL
入库时间 2022-08-21 17:25:22