退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
机译:substratreinigungsvorrichtung,substratreinigungsverfahren,substratreinigungsungsprogramme和programmaufzeichnungsmedium
公开/公告号AT553496T
专利类型
公开/公告日2012-04-15
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO ELECTRON LTD.;
申请/专利号AT20060810317T
发明设计人 TAKIMOTO YUJI;
申请日2006-09-20
分类号H01L21/00;
国家 AT
入库时间 2022-08-21 17:21:35
机译: 基础和程序
机译: 数据记录设备,数据记录方法,数据处理设备,数据处理,程序,程序记录介质,数据记录介质和数据结构
机译: 车辆判别装置,车辆判别方法,车辆判别程序以及存储的车辆判别程序中的程序记录介质