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PROCESS CHANGE DETECTION THROUGH THE USE OF EVOLUTIONARY ALGORITHMS

机译:通过使用进化算法进行过程更改检测

摘要

The present invention provides a method for creating a process change detection algorithm. An evolutionary computing technique is applied to at least one process dataset containing at least one known process change. The evolutionary computing technique will generate a process state function (or a scaling coefficient set for use with an existing process state function) that optimizes detection of the known process changes. The generated process state function or coefficients can then be applied thereafter to future datasets (either in real-time or after processing) to detect process changes.
机译:本发明提供了一种用于创建过程变化检测算法的方法。进化计算技术被应用于至少一个包含至少一个已知过程变化的过程数据集。演化计算技术将生成过程状态函数(或与现有过程状态函数一起使用的缩放系数集),该过程状态函数可优化对已知过程变化的检测。然后可以将生成的过程状态函数或系数随后(实时地或在处理之后)应用于将来的数据集以检测过程变化。

著录项

  • 公开/公告号EP1891492B1

    专利类型

  • 公开/公告日2012-06-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 UNAXIS USA INC;

    申请/专利号EP20060772850

  • 发明设计人 PLUMHOFF JASON;

    申请日2006-06-12

  • 分类号G05B23/02;H01L21/66;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-21 17:17:17

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