机译:用于改善气浮玻璃基质转移装置的玻璃基质的外部部分形状的空转装置,能够通过校正玻璃的外部部分形状来准确地检查表面状况。
公开/公告号KR101141071B1
专利类型
公开/公告日2012-05-03
原文格式PDF
申请/专利权人 DIGITAL IMAGING TECHNOLOGY;
申请/专利号KR20110127713
申请日2011-12-01
分类号G01B11/30;G01N21/88;H01L21/66;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 17:08:08