机译:用于真空设备的冷却液馈通装置,包括一个法兰,该法兰带有用于紧固件的安装孔,一个用于传输冷却剂的传输孔,该传输孔的法兰两侧分别装有一个冷却剂端子,以及一个端子区域
公开/公告号DE102011017617B3
专利类型
公开/公告日2012-09-06
原文格式PDF
申请/专利权人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH;
申请/专利号DE20111017617
申请日2011-04-27
分类号F25D17/02;F16L5/02;F16L5/08;F16J15/06;C23C14/54;C23C14/56;B01J3/03;F25B41/00;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 17:04:57