公开/公告号JP2013534628A
专利类型
公开/公告日2013-09-05
原文格式PDF
申请/专利号JP20130516579
发明设计人 エルセロウギ、ナビル;ルークズ、ジョン;マドセン、ベニー;オルガード、クリスチャン、ヴォルフ;チャン、シャンドン;アンデルセン、トーマス、トールドボーグ;ボラプラガダ、モハン;ビンガード、ニイルス;
申请日2011-05-24
分类号G01R31/28;H01L21/66;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:59:18