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Method and apparatus for unwrapping two-dimensional phase data by interferometer

机译:用干涉仪解开二维相位数据的方法和装置

摘要

PPROBLEM TO BE SOLVED: To unwrap the entire two-dimensional data within an effective area even when there is a lack of data in an unwrap method and apparatus for two-dimensional data by an interferometer. PSOLUTION: The unwrap method includes: a common offset phase data group generation process S10 for generating a common offset phase data group which is a group of two-dimensional phase data which can be regarded to have the same offset value; an offset estimation process S11 for estimating a parameter ZSB1_i/SBcorresponding to each offset value zSB0i/SBof the common offset phase data group by temporarily setting a fitting function; and an unwrap process S12 for calculating zSB0i/SB=2round((ZSB1_i/SB-O)/2), with either one of each estimated parameter ZSB1_i/SBor weighted average phase by ZSB1_i/SBas a standard phase value O, and subtracting the offset value zSB0i/SBfrom the common offset phase data group, respectively, thereby generating two-dimensional phase data. PCOPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
机译:

要解决的问题:即使在通过干涉仪对二维数据进行解包的方法和设备中缺少数据的情况下,也要在有效区域内对整个二维数据进行解包。解决方案:解包方法包括:公共偏移相位数据组生成过程S10,用于生成公共偏移相位数据组,该公共偏移相位数据组是可以被视为具有相同偏移值的二维相位数据的组;偏移估计处理S11,用于通过临时设置拟合函数来估计与公共偏移相位数据组的每个偏移值z 0i 相对应的参数Z 1_i 。以及用于使用每个估计参数Z 1_i中的一个计算z 0i = 2round((Z 1_i -O)/ 2)的展开过程S12。 Z 1_i 作为标准相位值O的SB>或加权平均相位,并从公共偏移相位数据组中分别减去偏移值z 0i ,从而生成两个维相位数据。

版权:(C)2011,日本特许厅&INPIT

著录项

  • 公开/公告号JP5265425B2

    专利类型

  • 公开/公告日2013-08-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 オリンパス株式会社;

    申请/专利号JP20090068819

  • 发明设计人 熊谷 俊樹;

    申请日2009-03-19

  • 分类号G01B9/02;G01M11;G01B11/24;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 16:58:03

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