要解决的问题:即使在通过干涉仪对二维数据进行解包的方法和设备中缺少数据的情况下,也要在有效区域内对整个二维数据进行解包。解决方案:解包方法包括:公共偏移相位数据组生成过程S10,用于生成公共偏移相位数据组,该公共偏移相位数据组是可以被视为具有相同偏移值的二维相位数据的组;偏移估计处理S11,用于通过临时设置拟合函数来估计与公共偏移相位数据组的每个偏移值z 版权:(C)2011,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP5265425B2
专利类型
公开/公告日2013-08-14
原文格式PDF
申请/专利权人 オリンパス株式会社;
申请/专利号JP20090068819
发明设计人 熊谷 俊樹;
申请日2009-03-19
分类号G01B9/02;G01M11;G01B11/24;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:58:03