要解决的问题:提供一种基板处理系统,其中当改变其连接配置时可以缩短系统关闭时间。解决方案:基板处理系统2包括多个基板处理装置10和组控制系统7。组控制系统7包括用于存储配置信息的配置信息存储装置,进行通信的多个通信装置。至少一个基于所述存储的配置信息的基板处理设备10,以及设备信息存储设备,所述设备信息存储设备基于所存储的配置信息与所述通信设备之一连接并存储与所述基板处理设备有关的信息10与通信设备进行通信。当配置信息被更新时,配置信息存储设备将配置信息的更新通知给通信设备。
版权:(C)2009,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP5269337B2
专利类型
公开/公告日2013-08-21
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立国際電気;
申请/专利号JP20070096148
申请日2007-04-02
分类号H01L21/02;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:57:18