要解决的问题:为了在与光接收元件一起二维布置的光学位移计中获得根据工作获得的稳定量的光。
解决方案:该光学位移计包括:投影单元3,用于向测量对象WK照射光;具有二维光接收元件15,该二维光接收元件15具有能够在不使接收光的强度饱和的情况下抑制高接收光强度的区域中的输出信号的光接收特性曲线,并且从测量对象WK接收反射光并将其输出。作为在第一方向上的每个位置处的光接收信号;受光元件控制部52,用于调整二维受光元件15的受光特性曲线。放大器,其用于放大来自二维光接收元件15的光接收信号,该二维光接收元件的光接收特性曲线由光接收元件控制单元52调节。轮廓算术单元54能够基于从投影单元3发射的光的反射光,基于由放大器在第一方向上的每个点处获得的放大信号,来计算测量对象WK的轮廓形状。版权:(C)2012,JPO&INPIT
公开/公告号JP5271427B2
专利类型
公开/公告日2013-08-21
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社キーエンス;
申请/专利号JP20120006610
申请日2012-01-16
分类号G01B11/24;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:56:54