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Manufacturing method for boundary acoustic wave device and boundary acoustic wave device

机译:弹性边界波装置的制造方法及弹性边界波装置

摘要

A manufacturing method for a boundary acoustic wave device is capable of certainly providing the boundary acoustic wave device with desired target frequency characteristics. The manufacturing method for the boundary acoustic wave device includes a process for preparing a laminated body that includes a first medium, a second medium laminated on the first medium, and an IDT electrode that is disposed at an interface between the first and second media, and a process for implanting ions from an outer portion of the second medium and adjusting a frequency.
机译:弹性边界波装置的制造方法能够确实地为弹性边界波装置提供期望的目标频率特性。弹性声波装置的制造方法包括:准备层叠体的工序,该层叠体包括第一介质,层叠在第一介质上的第二介质,和配置在第一介质与第二介质之间的界面的IDT电极,以及一种从第二介质的外部注入离子并调节频率的过程。

著录项

  • 公开/公告号US8569926B2

    专利类型

  • 公开/公告日2013-10-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 HAJIME KANDO;MARI SAJI;

    申请/专利号US201113215309

  • 发明设计人 HAJIME KANDO;MARI SAJI;

    申请日2011-08-23

  • 分类号H01L41/08;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 16:45:11

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