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Semiconductor yield management system and method

机译:半导体良率管理系统及方法

摘要

A system and method for yield management are disclosed wherein a data set containing one or more prediction variable values and one or more response variable values is input into the system. The system can process the input data set to remove prediction variables with missing values and data sets with missing values based on a tiered splitting method to maximize usage of all valid data points. The processed data can then be used to generate a model that may be a decision tree. The system can accept user input to modify the generated model. Once the model is complete, one or more statistical analysis tools can be used to analyze the data and generate a list of the key yield factors for the particular data set.
机译:公开了一种用于产量管理的系统和方法,其中将包含一个或多个预测变量值和一个或多个响应变量值的数据集输入到系统中。系统可以基于分层拆分方法处理输入数据集,以删除具有缺失值的预测变量和具有缺失值的数据集,以最大限度地利用所有有效数据点。然后,可以将处理后的数据用于生成可以是决策树的模型。系统可以接受用户输入以修改生成的模型。一旦模型完成,就可以使用一个或多个统计分析工具来分析数据并为特定数据集生成关键产量因子的列表。

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