公开/公告号RU2485222C1
专利类型
公开/公告日2013-06-20
原文格式PDF
申请/专利号RU20110146091
发明设计人 NEGASHEV STANISLAV ALEKSANDROVICH;ALIKIN DENIS OLEGOVICH;SHUR VLADIMIR JAKOVLEVICH;BATURIN IVAN SERGEEVICH;
申请日2011-11-15
分类号C30B33/04;C30B29/30;H01L41/22;
国家 RU
入库时间 2022-08-21 16:23:00