机译:用于夹紧传动带的设备,包括用于在输送路径中在输送辊上传递旋转运动的驱动器,用于输送圆盘形基板的真空处理系统以及带有皮带辊的夹持装置
公开/公告号DE102011113353B3
专利类型
公开/公告日2013-01-31
原文格式PDF
申请/专利权人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH;
申请/专利号DE201110113353
申请日2011-09-15
分类号B65G13/07;C23C14;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 16:22:08