机译:在极端紫外线掩模计量系统中产生用于偏转污染物的气幕的装置,其喷嘴带有喷嘴部分,其中超声波气流的压力不大于环境压力的特定百分比
公开/公告号DE102012213927A1
专利类型
公开/公告日2013-06-06
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT GMBH;
申请/专利号DE201210213927
发明设计人 MAREK PETER;GALUTSCHEK ERNST;EHM DIRK HEINRICH;AKBARINIA ALI-REZA;KUGLER JENS;HEMBACHER STEFAN;BECKER MORITZ;SAUERHOEFER ALEXANDER;
申请日2012-08-07
分类号G03F7/20;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 16:21:40