公开/公告号JP2014188498A
专利类型
公开/公告日2014-10-06
原文格式PDF
申请/专利权人 TAIYO NIPPON SANSO CORP;
申请/专利号JP20130069031
发明设计人 SUZUKI KATSUMASA;
申请日2013-03-28
分类号B01D53/70;B01D53/18;B01D53/77;B01J19/08;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/205;H05H1/24;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:18:10