公开/公告号JP5525547B2
专利类型
公开/公告日2014-06-18
原文格式PDF
申请/专利权人 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.;
申请/专利号JP20110542800
发明设计人 フィンデルス;ヨゼフ;キールス;アントイネ;クアエダッカーズ;ヨハネス;ヴァン デル シャール;マウリッツ;ルイス;クリスチャン;ヴァン ラーホーフェン;ヘンドリック;メゲンス;ヘンリカス;
申请日2009-12-21
分类号H01L21/027;G03F7/20;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:16:15