公开/公告号JP2014040356A
专利类型
公开/公告日2014-03-06
原文格式PDF
申请/专利权人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD;
申请/专利号JP20120184443
申请日2012-08-23
分类号C04B35/462;C01G29/00;H01L41/39;H01L41/08;H01L41/187;H01L41/18;H01L41/257;H01L41/22;G01B17/02;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:15:52