提供一种振动条特征检查装置和振动条特征检查技术,该振动条特征检查装置和振动条特征检查技术能够将石英坯料高精度地输送到检查位置,以进行检查。
解决方案:用于检查石英晶体毛坯等振动带的电特征的振动带特征检查装置是一种振动带特征检查装置,其包括:真空吸盘,用于吸收负压以保持振动带。压力;第一电极在与真空卡盘成一体或相邻的情况下展开;第一邻接面,确定上述真空吸盘的位置;布置第二电极以面对真空吸盘;第二抵接面确定第二电极侧的位置;定位机构,其抵接于第一抵接面与第二抵接面,以决定第一电极与第二电极的相对距离。
版权:(C)2010和JPO&INPIT
公开/公告号JP5339334B2
专利类型
公开/公告日2013-11-13
原文格式PDF
申请/专利权人 アキム株式会社;
申请/专利号JP20080102976
发明设计人 今井 ▲しょう▼二郎;
申请日2008-04-11
分类号G01R29/22;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:12:55