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Observation device and void observation method

机译:观察装置和空隙观察方法

摘要

A disclosed observation apparatus for observing a void generated in an underfill resin upon mounting a body to be mounted on a substrate via the underfill resin in flip-chip mounting includes: a mounting unit mounting the body to be mounted on the substrate; and an observation unit observing behavior of the underfill resin while the mounting unit is mounting the body to be mounted on the substrate.
机译:公开了一种用于在倒装芯片安装中经由底部填充树脂观察将要安装的本体安装在基板上时在底部填充树脂中产生的空隙的观察装置,包括:安装单元,其将要安装在基板上的本体安装在安装单元上。观察单元在安装单元将要安装的主体安装在基板上时观察底部填充树脂的行为。

著录项

  • 公开/公告号JP5428131B2

    专利类型

  • 公开/公告日2014-02-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 富士通株式会社;

    申请/专利号JP20070030423

  • 发明设计人 佐藤 雅彦;伊倉 和之;西野 徹;

    申请日2007-02-09

  • 分类号H01L21/56;H01L21/60;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 16:11:41

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