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机译:确定结构参数并纠正不对称特性。
公开/公告号NL2010717A
专利类型
公开/公告日2013-11-25
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号NL20132010717
发明设计人 STRAAIJER ALEXANDER;
申请日2013-04-26
分类号G01N21/47;G03F7/20;
国家 NL
入库时间 2022-08-21 15:56:56
机译: 确定结构参数并校正不对称性
机译: 确定结构参数并纠正不对称特性
机译: 光信号系统控制方法,涉及通过偏导数确定实际参数的校正参数集,并根据校正后的参数调整光信号系统的释放时间