公开/公告号WO2013179655A1
专利类型
公开/公告日2013-12-05
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO ELECTRON LIMITED;
申请/专利号WO2013JP03376
发明设计人 CHEN JIN-SYUNG;LIN PEI-CHIN;NISHIMANIWA OSAMU;SUZUKI KATSUSHI;GAN LAI-PHENG;CHIANG JUI-KANG;LEE CHIN-YIN;
申请日2013-05-28
分类号H01L31/04;G01R31;H01L31/042;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 15:53:00