公开/公告号EP2680984A1
专利类型
公开/公告日2014-01-08
原文格式PDF
申请/专利权人 INTELLIGENDT SYSTEMS & SERVICES GMBH;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;
申请/专利号EP20120711796
申请日2012-02-27
分类号B06B1/06;H01L41/113;H01L41/08;H02N2/00;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 15:47:26