公开/公告号WO2014159464A1
专利类型
公开/公告日2014-10-02
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号WO2014US23767
发明设计人 LEI WEI-SHENG;CHOWDHURY MOHAMMAD KAMRUZZAMAN;EGAN TODD;EATON BRAD;YALAMANCHILI MADHAVA RAO;KUMAR AJAY;
申请日2014-03-11
分类号H01L21/3065;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 15:46:46