机译:用于微光刻的光学成像装置的光学模块,即刻面反射镜,具有衰减装置,该衰减装置相对于第一移动的衰减来衰减衰减装置的衰减元件之间的第二相对移动。
公开/公告号DE102013212367A1
专利类型
公开/公告日2014-08-14
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT GMBH;
申请/专利号DE201310212367
发明设计人 FRAY SEBASTIAN;
申请日2013-06-27
分类号G02B7/182;G03F7/20;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 15:37:11