科研证明
文献服务
退出
我的积分：
中文文献批量获取
外文文献批量获取
机译：具有有机共配体的金属过氧化合物，可用于电子束，深紫外线和极端紫外线protoristist应用
公开/公告号GB201413639D0
专利类型
公开/公告日2014-09-17
原文格式PDF
申请/专利权人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION;
申请/专利号GB20140013639
发明设计人
申请日2013-02-12
分类号
国家 GB
入库时间 2022-08-21 15:36:02
机译： 具有有机共配体的金属过氧化合物，可用于电子束，深紫外线和极端紫外线protoristist应用
机译： 电子束，深紫外线和极紫外光致抗蚀剂应用中的有机过氧化物金属过氧化物化合物
