机译:形成扩散防止层的涂布液,使用相同层的扩散防止层,形成相同层的方法,制造具有掺杂剂扩散层的半导体基板的过程以及制造太阳能电池的过程
公开/公告号JP2014232813A
专利类型
公开/公告日2014-12-11
原文格式PDF
申请/专利号JP20130113360
发明设计人 SATO HIROAKI;
申请日2013-05-29
分类号H01L21/22;H01L31/06;H01L21/225;H01L21/316;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 15:31:53